關于暴露倉出現靜電的危害
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- 發布日期：2018-02-27 11:22:42
1、靜電庫侖力
在靜電庫侖力的效果下，吸附的粉塵、污物構成元器材增大走漏或構成短路，使暴露倉功能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時，最易使產品作廢。現在線徑更細，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會危害元器材，這種景象多發作在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。
2、靜電放電
(1)元器材的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，接觸器材腳時發作ESD，其向大地瞬間構成脈沖放電電流峰值可達20A(10~100s)，不要說高密度，細線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會遭受損壞。
一般說器材絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm，如果器材SiO2膜厚度取1000，其器材輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人體帶靜電超越50V、100V是極往常的。
(2)構成噪聲、發射電磁波攪擾!
ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號強，相當于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強壯噪聲，可能引起元器材損壞，設備和傳感器不正常作業，甚至引起暴露倉設備死機。
ESD引起的EMI還會引發過錯信號的輸入，或發作鎖存現象。如無塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的分散會引起晶圓片處理機死機。
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